西门子收购Canopus：引入“AI显微镜”技术

2 月 5 日消息，西门子（Siemens）昨日（2 月 4 日）发布公告，宣布收购法国初创公司 Canopus AI，通过引入计算量测（Computational Metrology）和检测技术，强化其 Calibre 晶圆制造软件生态。

据西门子透露，该笔交易实际上已于 2026 年 1 月 12 日完成交割。尽管官方未披露具体金额，但业界估算交易额约在 1.5 亿至 3 亿欧元（注：现汇率约合 12.31 亿至 24.62 亿元人民币）之间。

Canopus AI 是一家总部位于法国格勒诺布尔的创新企业，成立于 2021 年，专注于利用机器学习和人工智能技术优化半导体量测与检测流程。

Canopus AI 面向量测与检测领域的机器学习及人工智能技术，通过量测边缘放置误差（EPE），优化晶圆制造仿真模型

Canopus AI 在行业内开创性地提出了“Metrospection”理念。该理念旨在搭建一个全面的软件框架，利用 AI 技术打通传统晶圆量测与检测之间的技术壁垒，通过其特有的 Mapbox 类查看器，用户可以交互式审查关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）图像及大批量制造数据。

面对器件尺寸微缩和产能扩大的双重挑战，大规模量测已成为保障先进制程良率的关键。西门子计划将 Canopus AI 的技术与其 Calibre 产品组合中的“计算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI 网页版 Mapbox 类查看器，支持关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）图像、HVM（大批量制造）Oasis 及计量检测数据的交互审查。

通过这种互补，西门子将提供一套具备差异化的端到端 EDA 解决方案。这不仅能提升晶圆图形成像的保真度，还能通过精准测量边缘放置误差（EPE），帮助制造商实现亚纳米级的工艺控制。

西门子数字化工业软件总裁 Tony Hemmelgarn 强调，此次收购彰显了西门子用工业 AI 解决制造挑战的决心。整合后的技术将助力半导体企业缩短先进制程节点的量产周期，并加速良率爬升。